技術
- GSRセンサ原理の紹介
GSRセンサの原理は、GHzパルスによる最表面スピンの一斉超高速回転現象をマイクロコイルで検知するもので、検出力はパルス周波数の平方根とコイル巻き数に比例して増加する。開発したGSRセンサは、MIセンサに比べて、パルス周波数を10MHzから1GHzに増加させ、微細コイルの採用で巻き数を10倍にすることで、100倍の感度性能を実現することが可能である。
- GSR素子商品、サンプルの紹介
現在試作しているGSR素子の性能は、コイルピッチ3μmを基本として、素子の長さは0.1㎜から2㎜に変化させて測定レンジを6Gから100Gまで制御したものである。感度は、6mV/Gから500mV/Gまでに調整している。
- 3次元フォトリソの紹介
GSRセンサの原理図を図1に示す。その製作工程である3次元フォトリソ工程は、溝とワイヤとからなる凹凸面上への微細描画を特徴とする技術で、その概要を図2に示す。注目すべき新技術は、凹凸面に微細描画する技術(図3)と直径10μmのアモルファスワイヤを深さ7µmの溝に整列する技術(図4)である。
- 共同研究について
商品開発について、ウェアラブルコンピュータ用の磁気ジャイロコンパス、生体磁気検知用pT(ピコテスラ)センサおよび自動車用磁気センサ以外にも、カテーテル内超小型センサ、計測器用pTセンサ、電流センサなど、いろいろなメーカと共同開発を行っています。共同開発にあたって、当社から、素子サンプルおよび電子回路EVK(アナログ出力)を提供させていただきます。またセンサシステム評価用のプログラム内蔵のEVK(デジタル出力)についても対応させていただきます。
特許・商標
主な特許は、GSRセンサの原理特許およびASIC一体型特許、GSR素子の構造特許および製造方法特許、GSRセンサの回路特許、磁性ワイヤの整列特許および熱処理特許、生体磁気検出特許、磁気ジャイロ特許、ステンレス磁石特許、磁石式義歯アタッチメント特許、ハンドピース特許および応力センサ応用特許の39件(子会社ナノコイル株式会社含む)です。
外国特許は、GSRセンサの原理特許など4件取得。
商標は、GSRセンサ(商品:磁気センサ)、MagTeeth(商品:歯科用磁石式アタッチメント)など4件です。
特許公報
- 22年取得特許
①JPB 7033285 微細配線接合体およびその製造方法
②JPB 7062216 超薄型高感度磁気センサ
③JPB 7078832 着磁装置
④JPB 7125684 磁石式義歯アタッチメント
⑤JPB 7125685 スリーブ付き磁石式義歯アタッチメントとその製造方法
⑥JPB 7125686 磁石式義歯アタッチメント
⑦JPB 7126645 磁石体の位置・方位検出装置
⑧JPB 7141668 ハンドピース先端部の位置・方位検出装置、ハンドピース誘導システムおよびハンドピース誘導アシストシステム
⑨JPB 7173504 複合磁性材料の製造方法
⑩JPB 7173506 ガイドワイヤ用Cr-Ni系ステンレス磁石の製造方法、スマートガイドワイヤ、ガイドワイヤ操作システムおよびガイドワイヤ操作ロボットシステム
⑪JPB 7182231 複合磁性Cr-Ni系ステンレス鋼製プレートとその製作する方法および複合磁性Cr-Ni系ステンレス磁石の製造方法
⑫JPB 7201194 磁界検出素子の製造方法