技術

  • GSRセンサ原理の紹介

GSRセンサの原理

GSRセンサの原理は、GHzパルスによる最表面スピンの一斉超高速回転現象をマイクロコイルで検知するもので、検出力はパルス周波数の平方根とコイル巻き数に比例して増加する。開発したGSRセンサは、MIセンサに比べて、パルス周波数を10MHzから1GHzに増加させ、微細コイルの採用で巻き数を10倍にすることで、100倍の感度性能を実現することが可能である。

  • GSR素子商品、サンプルの紹介

現在試作しているGSR素子の性能は、コイルピッチ3μmを基本として、素子の長さは0.1㎜から2㎜に変化させて測定レンジを6Gから100Gまで制御したものである。感度は、6mV/Gから500mV/Gまでに調整している。

  • 3次元フォトリソの紹介

3次元フォトリソ技術

GSRセンサの原理図を図1に示す。その製作工程である3次元フォトリソ工程は、溝とワイヤとからなる凹凸面上への微細描画を特徴とする技術で、その概要を図2に示す。注目すべき新技術は、凹凸面に微細描画する技術(図3)と直径10μmのアモルファスワイヤを深さ7µmの溝に整列する技術(図4)である。

  • 共同研究について

商品開発について、ウェアラブルコンピュータ用の磁気ジャイロコンパス、生体磁気検知用pT(ピコテスラ)センサおよび自動車用磁気センサ以外にも、カテーテル内超小型センサ、計測器用pTセンサ、電流センサなど、いろいろなメーカと共同開発を行っています。共同開発にあたって、当社から、素子サンプルおよび電子回路EVK(アナログ出力)を提供させていただきます。またセンサシステム評価用のプログラム内蔵のEVK(デジタル出力)についても対応させていただきます。

特許・商標

主な特許は、GSRセンサの原理特許およびASIC一体型特許、GSR素子の構造特許および製造方法特許、GSRセンサの回路特許、磁性ワイヤの整列特許および熱処理特許、生体磁気検出特許、磁気ジャイロ特許、ステンレス磁石特許、磁石式義歯アタッチメント特許、ハンドピース特許および応力センサ応用特許、磁気顕微鏡、モータ特許の49件(子会社ナノコイル株式会社含む)です。
外国特許は、GSRセンサの原理特許など4件取得。
商標は、GSRセンサ(商品:磁気センサ)、MagTeeth(商品:歯科用磁石式アタッチメント)など4件です。

取得特許

  • 2023年分

①JPB 7203400 GSR素子の製造方法
②JPB 7207676 GSR素子の製造方法
③JPB 7215702 磁界ベクトルセンサ
④JPB 7215703 ルートキーパーとその製造方法
⑤JPB 7312995 ステンレス磁石
⑥JPB 7329782 GSR素子の製造方法
⑦JPB 7329783 磁気顕微鏡
⑧JPB 7394425 磁気顕微鏡
⑨JPB 7394427 内包磁石型同期機およびその回転子
⑩JPB 7394428 ブラシレスSPMモータおよびその回転子の製造方法