23年8月25日 ASICタイプのGSR素子の製造方法と磁気顕微鏡の特許公報発行

• 23年8月25日 ASICタイプのGSR素子の製造方法と磁気顕微鏡の特許公報発行

８月21日に、on-ASIC タイプのGSR素子の製造方法3件目の特許（特許第7329782号）と磁気顕微鏡の特許（特許第7329783号）の公報が発行されました。（添付資料参照）
on-ASICタイプのGSR素子の製造方法のほうは、素子特有のコイル断線対策で、ネガレジスト面にRIE加工で作った矩形形状の溝を角に丸みがある台形状の溝に変形させて、コイル断線を防ぐテクニックです。RIE加工後に部分露光し最終キュア熱処理をするアイデアです。山の高さが揃うことで断線しにくくなります。
磁気顕微鏡は、観察する細胞を載せたシャーレの下に磁気センサ素子グリッドを配置して細胞が発する磁界を計測できるようになっています。細胞の形や動きと同時に各細胞の活性度も観察できます。まだ世の中にない画期的な顕微鏡です。

添付資料：特許第7329782号、特許第7329783号