23年2月9日 本蔵社長が、科学技術交流財団の研究会で招待講演を行いました

• 23年2月9日 本蔵社長が、科学技術交流財団の研究会で招待講演を行いました

科学技術交流財団（理事長は浜口道成元名古屋大学総長）の研究交流事業の一つである『3次元リソグラフィと精密加工技術の融合』研究会（座長は佐々木実･豊田工業大学教授）からの依頼で、招待講演を行いました。

講演テーマ：
「3次元微細加工によるマイクロコイルの製造」です。

講演内容：
半導体産業が2次元フォトリソ技術を基礎に急拡大している中、日本を中心に、次世代半導体技術の基礎となる、ナノ機能部品と一体化した3次元微細加工開発への挑戦がなされています。この技術は、マイクロサイズの機能部品と3次元フォトリソ技術と両者を融合する精密加工・組み立て技術の融合で形成されます。本講演は、典型的な開発例であるマイクロコイルの製造技術を紹介したものです。特にMIセンサからGSRセンサの進化にあたって、マイクロコイルの3次元微細加工技術の技術進歩が重要な役割を果たしたことを紹介しました。

聴講者の感想として、初めてまとまった形で3次元微細加工を理解できたとの声が寄せられていました。講演資料を添付しますので、ご関心のある方はお問い合わせください。

添付資料：講演資料PDF