21年5月30日　GSR素子の2号試作ラインの稼働を開始しました。

• 21年5月30日　GSR素子の2号試作ラインの稼働を開始しました。

1号試作ラインに対して、最新設備を導入して、コイルピッチを5.5μmから3μmへと微細化することができるようになりました。これによりGSRセンサの性能が2倍程度向上することが期待されます。
当社は、微細コイル試作依頼に協力しています。ご希望の方はご連絡をください。

【2号試作ラインの全体像】

【最新設備】
・スパッタ設備・・マルチチャンバーモデルの導入により、ピュアな成膜形成が可能になりました。
・露光設備・・オートアライメント機能付きアライナーの導入により、パターン間精度が向上しました。
・RIE設備・・・高真空モデルの導入により、リスパッタ残渣が少ない鮮明な加工が可能になりました。
・ワイヤー整列機・・・新しい位置調整技術の適用により、ワイヤーの整列精度が向上しました。